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特殊環(huán)境類試驗(yàn)箱

原子力顯微鏡可控氣體環(huán)境高低溫原位QNM測(cè)試裝置

別稱:原子力顯微鏡可控氣體環(huán)境高低溫原位QNM測(cè)試裝置

說(shuō)明:名稱:原子力顯微鏡可控氣體環(huán)境高低溫原位QNM測(cè)試裝置*章 設(shè)備組成序號(hào)名稱數(shù)量配置要求數(shù)量1原子力顯微鏡可控氣體環(huán)境高低溫原位QNM測(cè)試裝置一套定量納米力學(xué)

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技術(shù)參數(shù)


名稱:原子力顯微鏡可控氣體環(huán)境高低溫原位QNM測(cè)試裝置

*章 設(shè)備組成

序號(hào)

名稱

數(shù)量

配置要求

數(shù)量

1

原子力顯微鏡可控氣體環(huán)境高低溫原位QNM測(cè)試裝置

一套

定量納米力學(xué)測(cè)試模塊

1套

全自動(dòng)液氮泵

1套

高低溫恒溫槽

1套

高低溫樣品臺(tái)

1套

高精度溫控器

1套

高純氮?dú)馍善?/span>

1套

第二章 使用環(huán)境

類別

欄目

內(nèi)容

備注

安裝場(chǎng)地、尺寸要求

地面

地面平整,承重要求≥600kg/㎡

針對(duì)樓上場(chǎng)地

通道要求

試驗(yàn)箱外形尺寸能夠通過(guò)

/

安放環(huán)境

通風(fēng)良好,不含易燃易爆腐蝕性氣體和粉塵

維護(hù)空間

設(shè)備周圍留有適當(dāng)?shù)木S護(hù)空間

A:不小於600mm

B:不小於600mm

C:不小於開(kāi)門(mén)+1200mm

圖片3.png

 

用水用電

冷卻水水冷

冷卻塔的循環(huán)冷卻水、進(jìn)水溫度≤25℃

用電

60KW 獨(dú)立空開(kāi)。

電壓:3¢380VAC±10%,50Hz  三相五線 + 保護(hù)接地包。220V,接地保護(hù)。

電壓允許波動(dòng)范圍:10%

頻率允許波動(dòng)范圍:(50±0.5)HZ

保護(hù)地線接地電阻≤4Ω

要求用戶在安裝現(xiàn)場(chǎng)為設(shè)備配置相應(yīng)容量的空氣或動(dòng)力開(kāi)關(guān),并且此開(kāi)關(guān)必須獨(dú)立控制本設(shè)備使用

試驗(yàn)箱線纜(滿足場(chǎng)地實(shí)際安裝要求)

場(chǎng)地環(huán)境要求

儲(chǔ)存環(huán)境

0℃~+45℃;當(dāng)溫度低于0℃時(shí)(設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間停止),應(yīng)將設(shè)備存留的水排放干凈,以免管道內(nèi)的水結(jié)冰漲壞管道。

工作環(huán)境

+5℃~+40℃;≤85%RH;86KPa~106KPa

第三章 主要技術(shù)參數(shù)

序號(hào)

技術(shù)規(guī)格及參數(shù)

1

高低溫樣品臺(tái):

溫度范圍:-50℃至 200℃,溫度控制精度±0.1℃(通過(guò)配套溫控器實(shí)現(xiàn))

2

高低溫樣品臺(tái):可實(shí)現(xiàn)高低溫環(huán)境下的 AFM 測(cè)試。

3

配備氣體密封環(huán),可提供惰性、干燥或還原性氣體環(huán)境,防止樣品結(jié)霜或氧化。

4

具備減震設(shè)計(jì)與局部除霜功能。

5

配備定量納米力學(xué)測(cè)試模塊:可對(duì)樣品表面高分辨形貌成像的同時(shí)直接獲得其定量的納米力學(xué)性能,包括模量、粘附力、能量損失和樣品變形量等。楊氏模量測(cè)試范圍可達(dá):10kPa~100GPa,粘附力測(cè)試范圍可達(dá):10pN~10μN(yùn) 。

6

高精度溫控器:溫度控制精度±0.1℃ ,采用精密 PID 控制算法,為高低溫樣品臺(tái)提供準(zhǔn)確的溫度控制與穩(wěn)定輸出。

7

樣品移動(dòng)平臺(tái):可通過(guò)AFM的stage控制器移動(dòng),將高低溫樣品承臺(tái)向外移動(dòng)放置樣品,并將其移動(dòng)到掃描管下面。

8

自動(dòng)化控制與數(shù)據(jù)融合:測(cè)試過(guò)程同步記錄溫度和樣品表面形貌,模量等力學(xué)相關(guān)信息,建立溫度,形貌,力學(xué)的關(guān)聯(lián)分析。

9

主機(jī)艙密封增強(qiáng):檢查主機(jī)隔音罩門(mén)、窗、電纜孔等處的縫隙,使用適合機(jī)艙結(jié)構(gòu)和目標(biāo)溫度范圍的密封材料對(duì)縫隙進(jìn)行填充,確保氣密性。

10

溫控系統(tǒng)集成:在不同位置設(shè)置可控排氣口,促進(jìn)空氣流通,亦可密封。排氣口可以濕度的控制。

第四章 產(chǎn)品滿足試驗(yàn)條件及執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

1. GB2423.1-2008/IEC6008-2-1-2007第2部分:試驗(yàn)方法 試驗(yàn)A:低溫

2. GB/T 2423.2-2008   第2部分:試驗(yàn)方法 試驗(yàn)B:高溫

3. GJB150.3A-2009            高溫試驗(yàn)方法

4. GJB150.4A-2009             低溫試驗(yàn)方法

5. GB2423.22-2008電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn) 第2部分試驗(yàn)Nb:規(guī)定溫度變化速率的溫度變化

6. GBT 2424.5-2006 電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn) 溫度試驗(yàn)箱性能確認(rèn)

7. GB/T 10589-2008 低溫試驗(yàn)箱技術(shù)條件

8.GBT 2424.7-2006 電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn) 試驗(yàn)A和B(帶負(fù)載)溫度試驗(yàn)箱的測(cè)量

第五章 高低溫恒溫槽

主要由結(jié)構(gòu)系統(tǒng),溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng),濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)組成。

五.1. 結(jié)構(gòu)系統(tǒng)

五.2. 溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)

溫度范圍:-50℃至 200℃,溫度控制精度±0.1℃

五.2.1. 溫度采集

(1) --溫度采集精度:0.01℃

(2) --溫度輸入:A級(jí)高精度Pt100鎧裝鉑電阻 

五.2.2. 溫度控制

采用電加熱器提供熱源實(shí)現(xiàn)對(duì)工作室的升溫;通過(guò)機(jī)械制冷系統(tǒng)制冷實(shí)現(xiàn)對(duì)工作室的降溫;控制器通過(guò)采集溫度傳感器信號(hào)和設(shè)定值進(jìn)行比對(duì),通過(guò)PID+PWM 輸出自動(dòng)調(diào)節(jié)加熱器加熱功率或制冷蒸發(fā)器的制冷劑流量,使設(shè)備箱內(nèi)的空氣溫度達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡;制冷不加熱、加熱不制冷。

區(qū)別于冷熱平衡恒溫方式,采用國(guó)際先進(jìn)的熱氣旁通調(diào)節(jié)技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)制冷輸出的無(wú)級(jí)調(diào)節(jié),低溫恒溫?zé)o需開(kāi)啟加熱系統(tǒng)??梢燥@著的提高制冷系統(tǒng)的效率,節(jié)能降耗。

五.2.3. 加熱系統(tǒng)

電熱絲加熱

五.2.4. 制冷系統(tǒng)

采用機(jī)械壓縮機(jī)組制冷。

五.3. 濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)

在不同位置設(shè)置可控排氣口,促進(jìn)空氣流通,亦可密封。排氣口要求可以濕度的控制。

20~98%RH

五.3.1. 濕度采集

電容式濕度傳感器。

五.3.2. 濕度控制

采用電熱不銹鋼加濕器蒸汽加濕;通過(guò)機(jī)械制冷系統(tǒng)中的前級(jí)壓縮機(jī)制冷,使空氣中的水蒸氣在除濕蒸發(fā)器上冷凝實(shí)現(xiàn)對(duì)工作室的除濕;控制器通過(guò)采集濕度傳感器信號(hào)和設(shè)定值進(jìn)行比對(duì),通過(guò)PID+PWM 輸出自動(dòng)調(diào)節(jié)電熱加濕器加濕功率或除濕蒸發(fā)器的制冷劑流量,使設(shè)備箱內(nèi)的空氣相對(duì)濕度達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡

五.3.3. 加濕系統(tǒng)

采用電熱不銹鋼加濕器蒸汽加濕。

冷凍除濕方式,蒸發(fā)器冷凝除濕。箱體內(nèi)部配備加濕用水凈水器。

第六章 高低溫樣品臺(tái)

溫度范圍:-50℃至 200℃,溫度控制精度±0.1℃(通過(guò)配套溫控器實(shí)現(xiàn))。

可實(shí)現(xiàn)高低溫環(huán)境下的 AFM 測(cè)試。

可通過(guò)AFM的stage控制器移動(dòng),將高低溫樣品承臺(tái)向外移動(dòng)放置樣品,并將其移動(dòng)到掃描管下面。

第七章 高精度溫控器

作用:用于試驗(yàn)室設(shè)備控制。

組成:包括硬件系統(tǒng)和軟件系統(tǒng)兩部分。收集儲(chǔ)存數(shù)據(jù),發(fā)布命令,集成控制系統(tǒng)。

本地控制器+遠(yuǎn)程。

溫度控制精度±0.1℃ ,采用精密 PID 控制算法,為高低溫樣品臺(tái)提供準(zhǔn)確的溫度控制與穩(wěn)定輸出。

自動(dòng)化控制與數(shù)據(jù)融合:測(cè)試過(guò)程同步記錄溫度和樣品表面形貌,模量等力學(xué)相關(guān)信息,建立溫度,形貌,力學(xué)的關(guān)聯(lián)分析。

第八章 全自動(dòng)液氮泵

第九章 高純氮?dú)馍善?/span>

圖片4.png

 

第十章 定量納米力學(xué)測(cè)試模塊

可對(duì)樣品表面高分辨形貌成像的同時(shí)直接獲得其定量的納米力學(xué)性能,包括模量、粘附力、能量損失和樣品變形量等。楊氏模量測(cè)試范圍可達(dá):10kPa~100GPa,粘附力測(cè)試范圍可達(dá):10pN~10μN(yùn) 。

圖片5.png圖片6.png

 


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